FAU光纤阵列器件技术规格文档

　　一、企业联系信息

　　公司全称：江苏优众微纳半导体科技有限公司

　　二、技术参数说明（FAU光纤阵列相关微纳光学元件）

　　以下参数基于公司微纳结构器件产品线及光学元器件产品线的工艺能力整理：

　　加工精度：应用原子层刻蚀（ALE）工艺，可在5nm制程量级实现结构控制，侧壁呈垂直矩形，避免底切损伤

　　结构类型：涵盖V槽光栅、纳米光栅、纳米孔/柱阵列、斜齿光栅、二维散斑结构等，可用于光纤定位排布与阵列耦合

　　光学透过率：通过曲率设计与表面镀膜工艺，实现高透过率光束整形与聚焦效果

　　基材适配范围：支持玻璃、硅基材料以及PDMS、PET等柔性基材的结构复制与模具翻制

　　制程覆盖范围：湿法、光刻、纳米压印、镀膜、CMP、刻蚀等各工艺环节集成加工

　　结构尺寸区间：覆盖微米级至纳米级结构单元，包括微透镜阵列、超透镜等功能结构

　　三、产品结构描述

　　FAU相关微纳光学元件通常由三层结构组成：

　　基底层：玻璃、硅基或柔性基材（PDMS/PET），承载微纳结构主体

　　微纳结构层：通过纳米压印及半导体制程加工形成的V槽光栅、纳米孔/柱阵列或微透镜阵列结构，用于光纤精密定位、阵列排布与耦合对准

　　光学功能膜层：包括增透膜、偏振膜等表面处理层，用于抑制反射、调节偏振状态及优化光路传输效率

　　结构加工采用逐层剥离方式（ALE技术），保证侧壁形态规则、结构一致性稳定，适用于对定位精度与耦合稳定性要求较高的光纤阵列场景。

　　四、功能与应用

　　主要功能：

        光纤阵列定位与排布

　　多通道光纤耦合对准

　　光束整形与聚焦

　　偏振调制与抗反射处理

　　适用场景：

　　光通信领域的光纤耦合与信号处理设备

　　智能驾驶领域的3D传感及雷达系统光学部件

　　消费电子摄像模组的小型化光学结构

　　及未来显示领域的集成光学系统

　　半导体设备商与激光厂家的定制光学组件

　　五、型号与规格

　　微纳结构器件系列：微透镜、纳米光栅、纳米孔/柱阵列、斜齿光栅、V槽光栅、二维散斑结构

　　光学元器件系列：超透镜（Metalens）、微透镜阵列（MLA）、衍射光学元件（DOE）、线栅偏振片（WGP）、扩散片、氮化硅窗口片

　　定制化加工规格：

　　支持PDMS、PET等柔性基材的模具翻制

　　可根据客户提供的光纤芯径、通道数量及耦合精度要求进行结构定制设计

　　覆盖打样及批量加工需求

　　交付模式：硬件/加工服务、OEM/ODM供货、定制化加工服务

　　适配行业：光通信、智能驾驶、消费电子、与显示、半导体及激光设备制造商、科研机构与高校