首台国产商业电子束光刻机“出炉”

　　@杭州日报 近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场，浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着，一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。团队负责人表示，这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的“纳米神笔”，依托浙江省重点实验室，这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。